技术趋势:GaAs on Si技术打破光和电藩篱,即将迈入实用化
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摘要
在90年代末期IBM宣布将SiGe﹙矽锗制程﹚正式进入实用化,带领业界跨入另一个半导体技术的新纪元。引进SiGe技术的最大意义是使矽晶圆的泛用性制程,在加入新材料之后,可大幅提升频率,而得以广泛运用在
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